常用真空阀门的密封部有橡胶垫圈密封结构和金属垫圈密封结构。橡胶垫圈密封结构是运用阀板与阀座压紧橡胶垫圈，依托橡胶的弹性变形来完结的密封。金属垫圈密封结构是依托软金属受压发生塑性变形而到达密封意图。橡胶垫圈密封结构一般用于中低真空范畴;金属垫圈密封结构一般用于高真空和超高真空范畴。

  真空阀门的首要性能参数是导通率、漏气率、开关动作的可靠性和准确性，以及阀门的开闭时刻。阀门依照驱动方式分为手动和主动两种。主动阀门以压缩空气驱动为主，一部分小型阀门经过电磁铁来驱动。真空体系中常用的阀门大体有4种方式，即角阀闸板阀微调阀放气阀。别的，在气路中常用到针阀球阀。各种真空阀门依据运用的真空范畴和运用意图而选定。

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